t-Butylimidotris(dimethylamido)tantalum(V) 叔丁酯亚氨基(二甲氨基)钽(V)

CAS 69039-11-8 MFCD05863998

化学结构图

69039-11-8
SMILES: CC(C)(C)N=[Ta](N(C)C)(N(C)C)N(C)C

化学属性

Mol. FormulaC10H27N4Ta
Mol. Weight384.30
Appearance pale-yellow solid colorless solid
Stabilityair sensitive, moisture sensitive

别名和识别编码

Chemical Namet-Butylimidotris(dimethylamido)tantalum(V)
Chemical Name Translation叔丁酯亚氨基(二甲氨基)钽(V)
MDL NumberMFCD05863998
CAS Number69039-11-8
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系列性分类

  1. CVD & ALD Precursors
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  2. Tantalum
  1. Metal Alkylamides
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